اولین جرقه فناوری نانو در سال 1959زده شد که در این سال ریچارد فاینمن این ایده را مطرح ساخت که در آینده ای نزدیک می توانیم مولکول ها و اتم ها را به صورت مستقیم دستکاری کنیم. واژه ای فناوری نانو اولین بار در سال 1947 توسط استاد دانشگاه توکیو به رباتها جاری شد.